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GPZ900R Ninja(ニンジャ) 純正フロントフォーク用プリロードアジャスター レッド ハイパープロ(HYPER PRO)

GPZ900R Ninja(ニンジャ) アゼニス 純正フロントフォーク用プリロードアジャスター レッド マナレイスポーツ ハイパープロ(HYPER PRO)

安全!クリーン!速い! 三拍子そろったスーパードライヤー!!
フルオート、セミオート、マニュアルの3タイプ
 大宮工業㈱の公転式スピンドライヤーは多彩なラインナップが魅力のスタンドアローンタイプのウエハ遠心乾燥装置です。
フルオートバランサー(FAB)、各種ヒーター、チャンバーリンスなどオプションも多彩。
さらにOKKのバランステクノロジーを活用することで、例えば6インチと8インチのカセット各1個掛けはもとより3"4"5"6"の各2個掛け、3"4"8"×2個掛けといったお客様の生産品目に合わせた多彩なサイズのカセットの乾燥を行うことが出来ます。
さらにフルオートバランサーを搭載することで、ダミーウエハを投入することなく0-25枚差でも投入することが可能です。


オプション

Ninja(ニンジャ) Ninja(ニンジャ) 純正フロントフォーク用プリロードアジャスター ハイパープロ(HYPER レッド GPZ900R レッド PRO)

永年にわたり培われてきた振動解析技術により開発したスピンドライヤー用の自動バランシング装置をスピンドライヤーの回転部に装着することで、ウエハの枚数を不均衝にセットし回転させても振動が自動で抑制される画期的なオプション装置です。特に、ウエハの品種違いよる重量差のあるものや、常に投入枚数に変動があるなどの状況では、その効果は抜群です。
多くの重量差や枚数差はないが振動を除去したい場合や、異なるインチサイズのウエハ使用により振動が発生するような状況にオススメします。
簡易Pタイプ自動バランス調整装置
ウエハ枚数差が少ないものを対象とします Dimotiv ディモーティヴ アジャスタブルレバー ブレーキ/クラッチセット タイプ1 ボディーカラー:レッド(アジャスターカラー:ブラック) Multistrada 620。
取り付けが比較的容易で操作も簡単。マニュアル型のスピンドライヤーに利用されるユーザーが増えています。
ウエハ自体に誤差があるものや投入枚数がバラつくような場合は効果大!!

ULPA.イオナイザー付スライド式開閉蓋 

蓋がスライド式の為、ロボットが装置の上を自由に移動できます 165/65R15 BLIZZAK VRX ブリザック [4本価格] 送料無料 BRIDGESTONE ブリヂストン/スタッドレスタイヤ タイヤ単品。
蓋の開閉時間の短縮も含め大幅な時間短縮を実現しました。

  • 蓋の開閉時間を短縮
  • ロボットの移動スペースに制約が少ない
  • 開口部の真上で待機でき、蓋開と同時にウエハ投入が可能

ヒーター 

乾燥効率を極限まで追求
吸気口上部にヒーターを配置し、チャンバー内部に温かい空気を取り込むことによって乾燥効率がさらにUPします。

パーティクル評価実績

東北大学O研究室でのパーティクル評価実績は、0.16μ以上で5個以下という好評価をいただきました。評価対象機は一部を除き標準仕様です 。 お客様にはことのほかご満足いただきました。

東北大学 O研究室評価表

実験内容

  1. ベアウエハ準備。
    パーティクルカウンターでイニシャル値測定。
  2. DRY処理実施。(1,000rpm 480sec)
  3. パーティクルカウンターでアフター値測定。
  4. センター、及びパーティクル付着アドレスをTRXRF測定。

    GPZ900R Ninja(ニンジャ) 純正フロントフォーク用プリロードアジャスター レッド ハイパープロ(HYPER PRO)

パーティクルカウンター KLA-Tenco社製SFS6420
対象ウエハ 8インチシリコンウエハ(SLOT 1,4,7)
スピンドライヤー OKH-800シリーズ 7枚ウエハカセット仕様
公転式
1カセット仕様
簡易型バランサー搭載
軸周りの構造は標準

実験結果

Ini:投入前数値 Alt:投入後数値 Diff:差引き数値


製品仕様

(µm) SLOT 1 SLOT 4 SLOT 7
Ini. Aft. Diff. Ini. Aft. Diff. Ini. Aft. Diff.
0.160~0.200 0 1 1 0 3 3 1 2 1
0.200~0.300 1 0 -1 2 3 1 0 0 0
0.300~0.400 0 1 1 0 0 0 1 1 0
0.400~0.500 0 1 1 0 1 1 0 0 0
0.500~0.700 0 1 1 0 0 0 0 1 1
0.700~0.900 0 0 0 0 1 1 0 0 0
0.900~1.20 0 0 0 1 0 -1 0 0 0
A/C 1 0 -1 0 0 0 0 1 1
TOTAL 2 4 2 3 8 5 2 5 3
機  種
オート
セミオート / マニュアル


2~6インチ Max 1,000rpm
8インチ
12インチ Max 700rpm



2~6インチ 750×1350×1100 (mm) 750×1430×1100 (mm)
8インチ 850×1450×1150 (mm) 850×1530×1150 (mm)
12インチ 1050×1700×1170 (mm) 1050×1780×1170 (mm)


名  称 公転式ダウンフロー型スピンドライヤー
対応ワーク 2~12インチ
電  源 AC200V (50/60Hz)
軸シール ダストシールと強制吸引の併用
クレードル 2個または4個搭載可能
速度設定 1速、2速
材  質 ターンテーブル、クレードル 共にSUS316L(EP)
外  装 PVC
安全機構 異常振動自動停止 過負荷運転防止
立上り時間 12in…30秒以内 / 8in以下…25秒以内
{yahoojp} {okksg.co.jp}
{yahoojp}jpprem01-zenjp40-wl-zd-43816